五月色丁香婷婷网蜜臀av-国产美女牲交视频-国产裸体歌舞一区二区-免费欧洲美女牲交视频-免费无码黄真人影片在线

全國服務(wù)咨詢熱線:

18627990650

當(dāng)前位置:首頁  >  產(chǎn)品中心  >    >  氣體傳感器  >  Gasboard-2061紅外氣體傳感器 半導(dǎo)體行業(yè)薄膜沉積工藝

紅外氣體傳感器 半導(dǎo)體行業(yè)薄膜沉積工藝

簡要描述:紅外氣體傳感器 半導(dǎo)體行業(yè)薄膜沉積工藝是由四方儀器自主研發(fā)的高性能氣體傳感器,產(chǎn)品基于非分光紅外技術(shù)(NDIR),能夠精確測量半導(dǎo)體等應(yīng)用中產(chǎn)生的WF6、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體,兼容機(jī)臺內(nèi)常見預(yù)留尺寸、法蘭和通訊協(xié)議,可用于半導(dǎo)體沉積和清洗工藝的端點檢測、腔室清理終端檢測,能夠減少清潔時間,節(jié)約成本,提高產(chǎn)量。

  • 產(chǎn)品型號:Gasboard-2061
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新日期:2025-05-27
  • 訪  問  量:978

詳細(xì)介紹

紅外氣體傳感器 半導(dǎo)體行業(yè)薄膜沉積工藝


產(chǎn)品名稱:紅外氣體傳感器

產(chǎn)品型號:Gasboard-2061


紅外氣體傳感器產(chǎn)品概述

紅外氣體傳感器是由四方儀器自主研發(fā)的高性能氣體傳感器,產(chǎn)品基于非分光紅外技術(shù)(NDIR),能夠精確測量半導(dǎo)體等應(yīng)用中產(chǎn)生的WF6、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體,兼容機(jī)臺內(nèi)常見預(yù)留尺寸、法蘭和通訊協(xié)議,可用于半導(dǎo)體沉積和清洗工藝的端點檢測、腔室清理終端檢測,能夠減少清潔時間,節(jié)約成本,提高產(chǎn)量。


紅外氣體傳感器產(chǎn)品特性

(1)使用NDIR技術(shù),多氣體監(jiān)測支持(WF6、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體)

(2)響應(yīng)時間快,高靈敏度

(3)無耗材

(4)模擬/數(shù)字通信

(5)模塊化設(shè)計,便于集成


紅外氣體傳感器技術(shù)參數(shù)


檢測原理NDIR
檢測氣體WF6、CF4、SF6、NF3、CO2
量程1~264ppm(0~200mTorr)
重復(fù)性±0.5%
線性±1%F.S.
檢測限1ppm







應(yīng)用領(lǐng)域

半導(dǎo)體行業(yè)薄膜沉積工藝CVD設(shè)備的EPD氣體檢測

產(chǎn)品咨詢

留言框

  • 產(chǎn)品:

  • 您的單位:

  • 您的姓名:

  • 聯(lián)系電話:

  • 常用郵箱:

  • 省份:

  • 詳細(xì)地址:

  • 補(bǔ)充說明:

  • 驗證碼:

    請輸入計算結(jié)果(填寫阿拉伯?dāng)?shù)字),如:三加四=7

全國統(tǒng)一服務(wù)電話

027-81628829

電子郵箱:cubic-ry56@gasanalyzer.com.cn

公司地址:武漢市東湖高新技術(shù)開發(fā)區(qū)鳳凰產(chǎn)業(yè)園鳳凰園中路6號

業(yè)務(wù)咨詢微信

主站蜘蛛池模板: 凤翔县| 道真| 金坛市| 清原| 永昌县| 新郑市| 德清县| 大兴区| 石屏县| 文安县| 扶风县| 琼海市| 桂阳县| 东兴市| 汉川市| 罗平县| 双柏县| 石景山区| 修武县| 师宗县| 上林县| 泾阳县| 定日县| 榆社县| 昌都县| 乐陵市| 白城市| 旬阳县| 吴忠市| 航空| 河津市| 浦江县| 沙湾县| 当涂县| 黄石市| 蓬溪县| 铜鼓县| 牡丹江市| 茶陵县| 镇巴县| 灌南县|